Sistema de recubrimiento por cañón de electrones

El cañón de electrones forma parte del sistema de recubrimiento óptico del IAC situado en el laboratorio de películas delgadas. 

Se trata de una cámara de vacío que permite hacer recubrimientos uniformes de películas delgadas en sustratos de hasta 0,5 m de diámetro. La técnica de recubrimiento está basada en un cañón de electrones con una potencia de hasta 10 kW que puede actuar sobre un crisol de 6 cavidades. Además, el sistema incluye una fuente de evaporación térmica resistiva y un cañón de iones de baja potencia que pueden utilizarse para la limpieza de la superficie. Esta tecnología pertenece al centro CSOA 05.